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技術(shù)專題

大規(guī)模集成電路中的電遷移(EM)分析


在電子產(chǎn)品方面,ICPCB層面的故障機(jī)制很多。IC和高壓PCB的隱患是電遷移(EM)。這是PCB中的電化學(xué)效應(yīng),盡管這是由于IC中的散射所致,但設(shè)計(jì)人員在創(chuàng)建設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮金屬遷移和生長機(jī)理。目的是確保ICPCB級別的可靠性,從而盡可能延長使用壽命。

隨著集成電路的不斷縮小,大規(guī)模集成電路(VLSI)發(fā)生故障的可能性增加。自從90 nm節(jié)點(diǎn)以來,EM一直是一個(gè)問題,需要在電流密度和時(shí)序方面進(jìn)行優(yōu)化。大規(guī)模集成電路中的EM分析。跡線的間隙和厚度可以定義為VLSI中的設(shè)計(jì)規(guī)則,這有助于設(shè)計(jì)人員防止EM和操作過程中的故障。這是在VLSI設(shè)計(jì)中分析EM的方法。

大規(guī)模集成電路中的EM是什么?

EM是一種電效應(yīng),IC互連電子為構(gòu)成導(dǎo)線的原子提供了一些動(dòng)量。這是通過低能碰撞和隨后的散射而發(fā)生的。結(jié)果,隨著原子沿著互連朝向陰極移動(dòng),互連隨時(shí)間變形。這導(dǎo)致凹坑出現(xiàn)在更靠近陽極的導(dǎo)線中,并且小的金屬凸點(diǎn)開始沿著更靠近陰極的導(dǎo)線表面生長。

這會(huì)在很高的電流密度(通常> 10,000 A / cm2)下發(fā)生,并且當(dāng)導(dǎo)線中的電流密度更大時(shí),EM率會(huì)更高。這意味著EM是一個(gè)失控的過程。隨著EM發(fā)生在導(dǎo)線的一個(gè)區(qū)域中,橫截面積減小,電流密度增大。結(jié)果,EM的速率也增加了。隨著時(shí)間的流逝,更多的金屬以更快的速度遷移,該過程最終以短路或開路結(jié)束。

當(dāng)沿導(dǎo)線的金屬完全耗盡并在導(dǎo)線中留下空隙時(shí),就會(huì)發(fā)生開路故障。在發(fā)生短路的情況下,樹枝狀晶體會(huì)從電線上長出,直到橋接兩個(gè)導(dǎo)體之間的間隙。在這兩種情況下,組件均無法正常運(yùn)行,必須更換。大規(guī)模集成電路,僅是因?yàn)榛ミB之間的距離更近,所以與開路故障相比,發(fā)生短路故障的可能性更高。 

熱失控

還有另一種有助于電磁的過程:熱失控。EM遵循具有一定定義活化能的Ahrrenius過程,這意味著遷移速度隨互連溫度的升高而增加。隨著EM的進(jìn)行,金屬耗盡的區(qū)域具有更高的電流密度和更高的電阻,導(dǎo)致芯片工作時(shí)的溫度更高。

那么PCB呢?

EM也指PCB中的一種故障機(jī)制,該機(jī)制會(huì)導(dǎo)致高壓板短路。但是,PCB中的EM是一種電化學(xué)效應(yīng),會(huì)由于橋接而導(dǎo)致短路。 

PCB中,如果水在金屬上凝結(jié),則暴露在金屬上的一些殘留鹽會(huì)溶解到電解液中。兩個(gè)導(dǎo)體之間的高電場(即,以高電壓或緊密間隔)可驅(qū)動(dòng)電化學(xué)反應(yīng),從而導(dǎo)致金屬鹽的生長。這些樹枝狀晶體會(huì)生長并最終彌合兩個(gè)導(dǎo)體之間的間隙,從而引起短路。

這里的解決方案與大規(guī)模集成電路中的解決方案類似:在兩個(gè)處于不同電勢的導(dǎo)體之間提供足夠的間距,或者設(shè)計(jì)布局以使僅共模導(dǎo)體靠近放置。這是IPC(特別是IPC-2221)提供爬電標(biāo)準(zhǔn)的原因之一。請注意,PCB中導(dǎo)體之間的EM也是熱驅(qū)動(dòng)過程,盡管在樹枝狀生長期間不會(huì)發(fā)生相同的熱失控問題。

優(yōu)化IC互連以防止EM

像工程學(xué)中的大多數(shù)問題一樣,為電子設(shè)備的可靠性而進(jìn)行的設(shè)計(jì)都是在權(quán)衡不同設(shè)計(jì)選擇所涉及的權(quán)衡。對于大規(guī)模集成電路,自然的解決方案是簡單地增加走線的寬度。理想地,這將使電流密度降低到EM閾值以下。但是,線寬并不是全部內(nèi)容,IC的其他重要方面也需要優(yōu)化。

因?yàn)?/span>EM的傾向性取決于導(dǎo)線中的電流密度,所以它也取決于互連中信號的開關(guān)速率。當(dāng)數(shù)字信號切換時(shí),會(huì)有一瞬間的大電流突發(fā),并且在如此大的電流突發(fā)期間可能會(huì)發(fā)生少量的EM。隨著時(shí)間的流逝,EM累積了超過萬億的切換事件。此外,當(dāng)信號的上升時(shí)間更短時(shí),開關(guān)期間的峰值電流也更大,隨著芯片工作,這會(huì)導(dǎo)致更多的EM

布萊克定律總結(jié)了EM對平均故障時(shí)間(MTTF)的影響,然后可將其用于優(yōu)化集成電路的設(shè)計(jì)。

以下是VLSI設(shè)計(jì)期間互連優(yōu)化涉及的一些挑戰(zhàn):

互連寬度的增加會(huì)降低電阻和電流密度,但會(huì)增加電容(縮短上升時(shí)間)。

互連之間的間距減小有助于集成,但會(huì)增加潛在的串?dāng)_耦合。

降低上升時(shí)間可降低串?dāng)_耦合和峰值電流密度,但需要使芯片物理尺寸更大。

降低信號電平會(huì)降低電流密度和串?dāng)_耦合,但會(huì)降低SNR電平,并在電源完整性方面設(shè)置較小的容差

當(dāng)然,這四個(gè)問題不能孤立地解決。但是,有可用的軟件工具可以幫助您在VLSI中設(shè)計(jì)互連時(shí)找到平衡。

 

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